空间，通过真空泵使工作环境达到真空要求。主轴抛光离子源系统功能示意图如图5-1所示。
空间，通过真空泵使工作环境达到真空要求。主轴抛光离子源系统功能示意图如图5-1所示。
发布时间：2025-05-10 10:25:24
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答案：真空泵、主轴抛光离子源系统
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