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氧化膜的“表面钝化”说的是什么意思?

氧化膜的“表面钝化”说的是什么意思?

发布时间:2025-06-29 22:37:51
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答案:【计分规则】: 在硅表面生长SiO2层的过程中,可以将硅表面的一些电活性污染物(可动离子污染)束缚在其中,使其失去活性。这种效果叫做钝化。它能够有效的防止电性能的退化并减少由于潮湿、离子或其他外部污染物引起的漏电流的通路。
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