例举离子注入设备的5个主要子系统。
例举离子注入设备的5个主要子系统。
发布时间：2024-10-30 09:28:21
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答案：（1）离子源：待注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。注入离子在离子源中产生
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