下列关于MEMS，说法正确的是？

A、MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。;

B、MEMS技术是研究、设计、制造具有特定功能的微型装置，包括微传感器、微执行器和微系统等。;

C、MEMS技术一般包含体微机械加工和表面微机械加工。;

D、MEMS器件可以使用非硅材料进行加工。