光刻质量要求中不包括下列哪项（ ）
A、刻蚀图形完整，尺寸准确;
B、盒间距符合标准;
C、图形定位准确，各类标记完整;
D、图形内无小岛
发布时间：2025-07-11 21:03:23
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答案：盒间距符合标准
