简述CVD工艺的的工艺流程
简述CVD工艺的的工艺流程
发布时间：2025-10-20 17:16:29
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答案：（1）气体或气相源材料进入反应器（2）源材料扩散穿过边界层并接触衬底（3）源材料吸附在衬底表面（4）吸附的源材料在衬底表面移动（5）源材料在衬底表面开始化学反应（6）固体产物在晶体表面形成晶核（7）晶核生长形成岛状物（8）岛状物结合形成连续的薄膜（9）其他气体副产品从衬底表面上放出（10）气体副产品扩散过边界层（11）气体副产品流出反应器
