薄膜特性主要有哪几个？
薄膜特性主要有哪几个？
发布时间：2025-08-22 15:35:32
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答案：好的台阶覆盖能力，填充高的深宽比间隙的能力，好的厚度均匀性，高纯度和高密度，低的膜应力，好的电学特性以及对下层膜的粘附性。
