对于铜互连金属来说它对阻挡层金属有哪些要求？
对于铜互连金属来说它对阻挡层金属有哪些要求？
发布时间：2025-03-04 20:48:45
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答案：【计分规则】: 对于铜需要一种特殊的阻挡层金属，它要求： 阻止铜扩散； 低薄膜电阻；对介质材料和铜都有很好的附着； 与化学机械平坦化过程兼容；具有很好的台阶覆盖，填充高深宽比间隙的金属层是连续、等角的；允许铜有最小厚度，占据最大的横截面积。钽、氮化钽和钽硅氮（TaSiN）都是铜金属阻挡层的特选材料。另外，研究表明氮化钨（WN）对金属铜能够起到有效的阻挡作用。
