何谓物理气相沉积法和化学气相沉积法?
何谓物理气相沉积法和化学气相沉积法?
发布时间：2025-11-28 15:38:06
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答案：答:物理气相沉积(PVD):在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。化学气相沉积:存在化学反应的气相沉积称为化学气相沉积(CVD)
