描述RCA清洗工藝。(第六章)(10分)
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发布时间：2025-12-13 06:38:32
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答案：答:工業標准濕法清洗工藝稱為RCA清洗工藝,由美國無線電公司(RCA)於20世紀60年代提出。RCA濕法清洗由一系列有序の浸入兩種不同の化學溶液組成:1號標准清洗液(SC-1)和2號標准清洗液(SC-2)。SC-1の化學配料為NH4OH/H2O2/H2O這三種化學物按1:1:5到1:2:7の配比混合,它是堿性溶液,能去除顆粒和有機物質,SC-1濕法清洗主要通過氧化顆粒或電學排斥起作用。SC-2の組分是HCL/H2O2/H2O,按1:1:6到1:2:8の配比混合,用於去除矽片表面の金屬。改進後のRCA清洗可在低溫下進行,甚至低到45攝氏度
