将传统PECVD法中13.56MHz的等离子体激发频率增加到（ ）MHz的甚高频功率范围，就是VHF-PECVD技术。
A、30-300;
B、40-400;
C、50-500;
D、60-600
发布时间：2025-03-12 22:39:03
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答案：30-300
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