非晶硅薄膜的化学气相沉积工艺中，下列沉积速率最快的是（ ）。
A、微波等离子体化学气相沉积;
B、热丝化学气相沉积;
C、光诱导化学气相沉积;
D、直流等离子体化学气相沉积
发布时间：2026-01-24 17:15:33
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答案：微波等离子体化学气相沉积
