试分析淀积薄膜的应力
试分析淀积薄膜的应力
发布时间：2025-06-28 17:18:50
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答案：【计分规则】: 应力是不同材料间的不匹配所造成；有两种不同的应力：本质应力(intrinsic)和异质应力(extrinsic)；本质应力是在薄膜成核与成长制程期间产生的 异质应力则則是因为薄膜与基片间的热膨胀系数不同而造成的張力: 假如太大会引起薄膜破裂收缩力: 太強会形成尖突现象
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