据上述第2步的不同一般常用有三种淀积方式：常压化学气相淀积(APCVD)、
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发布时间：2025-05-11 00:57:56
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答案：低压化学气相淀积(LPCVD)、等离子体增强化学气相淀积(PECVD)。
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