低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？
低压化学气相淀积与常压化学气相淀积法相比，优点有？
发布时间：2025-05-18 09:12:20
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答案：①晶体生长或成膜的质量好；②淀积温度低，便于控制；③可使淀积衬底的表面积扩大，提高淀积效率。
